石英半球型微谐振器的仿真与加工
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国家自然科学基金资助项目(61574093);航空基金资助项目(2013ZC57003)

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Simulation and Fabrication of Micro Silica Hemispherical Resonator
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    摘要:

    该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581 nm,保留了原子级别的光滑度。

    Abstract:

    In this paper,the modal simulation of the micro silica hemispherical resonator is carried out.The first ten modes and the appropriate mode for a gyroscope are analyzed.The influence of the wall thickness of the resonator on the resonant frequency of the 4wave abdominal mode is discussed.A micro silica hemispherical resonator is fabricated by the glass blowing and wet etching process.It is concluded that the wet etching can accurately control the wall thickness by tracking different corrosion rates.The surface roughness of the resonator after corrosion is only 0581 nm which retains the atomic level of smoothness.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

邢亚亮, 张卫平, 唐健, 孙殿竣, 刘朝阳, 欧彬.石英半球型微谐振器的仿真与加工[J].压电与声光,2017,39(4):553-556. XING Yaliang, ZHANG Weiping, TANG Jian, SUN Dianjun, LIU Zhaoyang, OU Bin. Simulation and Fabrication of Micro Silica Hemispherical Resonator[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

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  • 在线发布日期: 2017-08-14
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