微声薄膜耦合谐振滤波器的仿真与设计
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Simulation and Design of Film Bulk Acoustic Wave Coupling Resonator Filters
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    摘要:

    基于Mason模型,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器的等效电路,实现了滤波器的快速仿真设计。将耦合谐振滤波器与梯形结构微声薄膜滤波器级联,改善了滤波器的矩形度、带外抑制等特性,并通过优化设计,提高了级联滤波器的相位线性度。

    Abstract:

    The equivalent circuit of film bulk acoustic wave coupling resonator filters was built based on Mason model, and the fast simulation of filter was realized. After combination of coupling resonator filter and ladder type FBAR filter, the square ratio and outside band rejection of filters were improved. Then, the phase linearity of serious filter was ameliorated by optimum design.

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引用本文

杜波,刘善群,马晋毅,江洪敏,杨靖,徐阳.微声薄膜耦合谐振滤波器的仿真与设计[J].压电与声光,2012,34(6):811-813. DU Bo, LIU Shanqun, MA Jinyi, JIANG Hongming, YANG Jing, XU Yang. Simulation and Design of Film Bulk Acoustic Wave Coupling Resonator Filters[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

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