基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
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Study on the Resonator of AlN Contour mode Rectangle Plate
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    摘要:

    介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的“三明治”空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20 MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。

    Abstract:

    This paper reports on theory modeling and experimental verification of a miniature resonator of bulk acoustic wave.An AlN sandwiched air cavity cantilever structure between a bottom electrode and a top electrode is fabricated by using the microelectronic and micromechanical technology.The resonator has the features of miniature,high Q and low cost.The resonant frequency of the fabricated resonator is 20 MHz,Q is about 800 and the electromechanical coupling coefficient is about 0.5%.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

郑升灵,李丽,要志宏,李宏军,李丰.基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究[J].压电与声光,2014,36(1):1-3. ZHENG Shengling, LI Li, YAO Zhihong, LI Hongjun, LI Feng. Study on the Resonator of AlN Contour mode Rectangle Plate[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

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  • 在线发布日期: 2014-01-07
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