多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究
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北京市自然科学基金资助项目(4122030);北京市自然科学基金重点资助项目(B类 KZ201511232037);北京市教育委员会科技计划基金资助项目(KM201511232022);现代控制技术教育部重点实验室(北京信息科技大学)基金资助项目

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Researchon Force Sensitivity and Stability of Multi-electrode Quartz Force Sensitive Resonator
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    摘要:

    在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路。在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好。将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8 Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级。

    Abstract:

    A new multi-electrode quartz resonator and signal processing circuit is designed on the basis of analyzing the stress distribution in the wafer when the quartz wafer is subjected to force. When a plurality of resonators are simultaneously excited at room temperature and atmospheric conditions, the resonator’s linearity of force-frequency characteristics and frequency stability corresponding to the respective electrodes are excellent. After the interaction frequency difference and superposition processing to the frequency of each resonator, the force-frequency coefficient of the output frequency signal can reach 2 951.8 Hz/N, the linear correlation is 0.999 7, and the frequency stability can reach the magnitude of 10-10.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

马博, 田文杰, 赵庆江, 陈福彬, 雷欧.多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究[J].压电与声光,2017,39(6):865-868. MA Bo, TIAN Wenjie, ZHAO Qingjiang, CHEN Fubin, LEI Ou. Researchon Force Sensitivity and Stability of Multi-electrode Quartz Force Sensitive Resonator[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

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  • 在线发布日期: 2017-11-24
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