国家自然基金资助项目(61471086);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开发基金课题项目(2014KZ001)
秦康宁,张根,杨泰,钟慧,蒋欣,杜波,马晋毅.在非晶硅上制备角度可控缓坡的方法[J].压电与声光,2018,40(5):670-673. QIN Kangning, ZHANG Gen, YANG Tai, ZHONG Hui, JIANG Xin, DU Bo, MA Jinyi. Method of Preparing the Angle Controllable Slope on Amorphous Si[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS
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